CN119615098A 一种pvd工艺中换靶材用旋转车 (六智韬新能源科技(上海)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-25 发布于重庆
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CN119615098A 一种pvd工艺中换靶材用旋转车 (六智韬新能源科技(上海)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119615098A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411638515.4

(22)申请日2024.11.17

(71)申请人六智韬新能源科技(上海)有限公司

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