CN119615113A 板式原子沉积设备及利用原子沉积设备的原子沉积工艺 (无锡松煜科技有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-25 发布于重庆
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CN119615113A 板式原子沉积设备及利用原子沉积设备的原子沉积工艺 (无锡松煜科技有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119615113A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202411654726.7

(22)申请日2024.11.19

(71)申请人无锡松煜科技有限

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