第四代半导体材料氧化镓发展应用趋势 .pdf

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第四代半导体材料氧化镓发展应用趋势

氧化镓应用前景

氧化镓是什么?

Ø氧化镓(GaO)是一种超宽禁带半导体,存在多种不同的晶相,可以互相转化

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Ø常压下β相最稳定,熔体法生长温度高,只能获得β相

Øβ相的晶体结构为单斜,对称性低,各向异性强,带来诸多问

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