IEC 62047-522026 半导体器件微机电器件第52部分可拉伸MEMS的双轴拉伸试验方法标准立项发展报告.docxVIP

半导体器件微机电器件第52部分：可拉伸MEMS的双轴拉伸试验方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part52:BiaxialtensiletestingmethodforstretchableMEMS

摘要

关键词：可拉伸MEMS；双轴拉伸试验；IEC62047-52；标准化；柔性电子；力学性能测试

Keywords:StretchableMEMS;Biaxialtensiletesting;IEC62047-52;Standardization;Flexibleelectronics;Mechanicalpropertytesting

1.引言

微机电系统（Micro-ElectromechanicalSystems,MEMS）技术自20世纪后半叶诞生以来，已深刻改变了传感器、执行器及微系统集成的技术格局。传统MEMS器件基于刚性衬底制造，其机械结构多为固定形态，难以适应复杂曲面共形与动态应变场景。近年来，随着柔性电子技术的迅猛发展，可拉伸MEMS作为一种能够在拉伸、弯曲、扭折等复杂变形条件下维持功能的新型微系统形态，正成为学术界与工业界共同关注的焦点。据Y