IEC TS 62607-8-42024 纳米制造 关键控制特性 第8-4部分金属氧化物界面器件 电子陷阱态的活化能低频噪声光谱标准立项发展报告.docxVIP

纳米制造关键控制特性第8-4部分：金属氧化物界面器件电子陷阱态的活化能：低频噪声光谱标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Nanomanufacturing–KeyControlCharacteristics–Part8-4:Metal-oxideinterfacialdevices–Activationenergyofelectronictrapstates:Low-frequency-noisespectroscopy

摘要

关键词：纳米制造；关键控制特性；金属氧化物界面器件；电子陷阱态；活化能；低频噪声光谱；国际电工委员会；标准化

Keywords:Nanomanufacturing;Keycontrolcharacteristics;Metal-oxideinterfacialdevices;Electronictrapstates;Activationenergy;Low-frequency-noisespectroscopy;IEC;Standardization

一、引言

1.1立项背景与研究意义

进入21世纪第三个十年，纳米制造技术已从实验室研究走向大规模产业化应用。薄膜晶体管（TFT）、非晶氧化物半导体、金属-绝缘体-金属结构等金属氧