CN119751093A 一种高纯氧化铝静电卡盘陶瓷的烧结方法 (君原电子科技(海宁)有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-27 发布于重庆
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CN119751093A 一种高纯氧化铝静电卡盘陶瓷的烧结方法 (君原电子科技(海宁)有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119751093A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202411638452.2

(22)申请日2024.11.17

(71)申请人君原电子科技(海宁)有限公司

地址314400浙江省嘉兴市海宁市海宁经

济开发区谷水路306号天通泛半导体

产业园2幢

(72)发明人李君叶善成石锗元洪元杓

陈振宁肖伟

(51)Int.Cl.

C04B35/64(2006.01)

C04B35/10(2006.01)

C04B35/622(2006.01)

权利要求书1页说明书5页

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