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- 2026-08-27 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119118131A
(43)申请公布日2024.12.13
(21)申请号202411613798.7
(22)申请日2024.11.13
(71)申请人苏州清研半导体科技有限公司
地址215100江苏省苏州市吴中区甪直镇
东方大道268号中科半导体产业社区A
幢802-803室、B幢1-2层
(72)发明人石林杨倩倩陈明
(74)专利代理机构苏州尚为知识产权代理事务
所(普通合伙)32483
专利代理师印丹
(51)Int.Cl.
C01B32/977(2017.01)
C30B23/00(2006.01)
C30B29/36(2006.01)
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