CN119123611A 一种洁净室压差自适应控制方法、装置、设备及介质 （山东中大工程科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119123611A

(43)申请公布日2024.12.13

(21)申请号202411612091.4G06F17/18(2006.01)

(22)申请日2024.11.13

(71)申请人山东中大工程科技有限公司

地址250000山东省济南市槐荫区经七路

843号泰山大厦22层B-01室

(72)发明人吴晓宇赵俊郜新广高玉丹

冯坤

(74)专利代理机构北京维正专利代理有限公司

11508

专利代理师邓骏杰

(51)Int.Cl.

F24F11/89(2018.01)

F24F11/88(2018.01)