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半导体材料涂层性能测试考核试卷

一、单项选择题（每题1分，共30题）

1.半导体材料涂层性能测试中，主要关注的物理量不包括：

A.抛光性

B.硬度

C.电阻率

D.透光率

2.以下哪种方法不适合用于测量半导体材料的涂层厚度？

A.膜厚仪

B.拉曼光谱

C.超声波测厚

D.电子显微镜

3.在半导体材料涂层性能测试中，硬度测试通常使用的方法是：

A.洛氏硬度计

B.维氏硬度计

C.里氏硬度计

D.以上都是

4.以下哪种测试方法主要用于评估半导体材料的涂层附着力？

A.拉伸测试

B.剥离测试

C.硬度测试

D.透光率测试

5.半导体材料涂层电阻率测试中，常用的设备是：

A.欧姆表

B.西门子兆欧表