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《高纯银靶材》国家标准

编制说明

（预审稿）

《高纯镇靶材》标准起草小组

2023年12月

《高纯镇靶材》编制说明

1.任务来源

根据全国有色金属准化技术委员会《关于下达2022年第二批推荐性国家准计划及

相关准外文版计划的通知》(国委发〔2022〕22号)的要求，由宁波江丰电子材料股

份有限公司负责起草《高纯镇靶材》国家准。项目计划编号：20220333-T-610,计划完成

年限为2024年6月。

2工作简况

2.1立项的目的和意义

银(Ni)是一种比较典型的金属靶材，由于模的抗腐蚀性能好，电磁屏蔽性能好，高纯

镇在我国先进装备、新一弋信息技术、船舶及海洋工程、航空航天、国防科技等领域业实现

了稳定供货和应用，特别在集成电路制造领域，在集成电路制作中一般用纯金作表面导电层，

但金与硅晶圆容易生成AuSi低熔点化合物，导致金与