JJF(电子) 0060-2021 半导体工艺用安时计现场校准规范.docxVIP

中华人民共和国工业和信息化部电子计量技术规范

ＪＪＦ（电子）００６０—２０２１

半导体工艺用安时计现场校准规范

ＦｉｅｌｄＣａｌｉｂｒａｔｉｏｎＳｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎｓｆｏｒＡｍｐｅｒｅ－ｈｏｕｒＭｅｔｅｒｓｏｆＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＰｒｏｃｅｓｓ

２０２１－１２－０２发布 ２０２２－０４－０１实施

中华人民共和国工业和信息化部 发 布

ＪＪＦ（电子

ＪＪＦ（电子

）００６０—２０２１

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半导体工艺用安时计现场校准规范

ＦｉｅｌｄＣａｌｉｂｒａｔｉｏｎＳｐｅｃｉｆｉｃａｔｉｏｎｓｆｏｒＡｍｐｅｒｅ－ｈｏｕｒＭｅｔｅｒｓｏｆＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＰｒｏｃｅｓｓ

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归 口 单 位：中国电子技术标准化研究院

主要起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所

本规范技术条文委托起草单位负责解释

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本规范主要起草人：

乔玉娥（中国电子科技集团公司第十三研究所）吴