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- 2026-08-27 发布于四川
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- | 2026-07-30 颁布
- | 2027-02-01 实施
ICS31.200
CCSL55
中华人民共和国国家标准
/—/:
GBT42709.122026IEC62047-122011
半导体器件微电子机械器件
:
第部分采用结构谐振法的
12MEMS
薄膜材料弯曲疲劳试验方法
——
SemiconductordevicesMicro-electromechanicaldevices
:
Part12Bendinfatiuetestinmethodoft
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