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- 2026-08-31 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119170553A
(43)申请公布日2024.12.20
(21)申请号202411604409.4
(22)申请日2024.11.12
(71)申请人华芯（嘉兴）智能装备有限公司
地址314200浙江省嘉兴市平湖市钟埭街
道福善线钟南段288号智创园G3栋北
侧1-4楼
(72)发明人王瑞骥余君山
(74)专利代理机构北京超凡宏宇知识产权代理
有限公司11463
专利代理师方晓燕
(51)Int.Cl.
H01L21/683(2006.01)
权利要求书2页说明书10页附图5页
(54)发明
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