CN119297136A 一种立式炉前置运输装置、立式炉的晶圆盒传送方法及立式炉系统 (上海大族富创得科技股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-08-29 发布于重庆
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CN119297136A 一种立式炉前置运输装置、立式炉的晶圆盒传送方法及立式炉系统 (上海大族富创得科技股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119297136A

(43)申请公布日2025.01.10

(21)申请号202411610317.7

(22)申请日2024.11.12

(71)申请人上海大族富创得科技股份有限公司

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