IEC 62047-482024 半导体器件.微机电器件.第48部分使用MEMS流体器件通过光吸收测定溶液浓度的试验方法标准立项发展报告.docx

半导体器件微机电器件第48部分：使用MEMS流体器件通过光吸收测定溶液浓度的试验方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part48:TestmethodfordeterminingsolutionconcentrationbyopticalabsorptionusingMEMSfluidicdevice

摘要

关键词：微机电器件；MEMS流体器件；光吸收法；溶液浓度测定；试验方法；国际标准；