原创力文档Ⅲ族氮化物半导体晶圆表面缺陷的测试激光扫描法
1范围
本标准规定了Ⅲ族氮化物半导体晶圆表面缺陷的无损光学测量方法。
本标准适用于2英寸及以上的Ⅲ族氮化物半导体衬底及外延片。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T14264-2024半导体材料术语
GB/T19921-2005硅抛光片表面颗粒测试方法
3术语和定义
GB/T14264-2024、GB/T19921-2005界定的以
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