GB/T 47926-2026半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范.pdf

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  • 2026-08-29 发布于四川
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  •   |  2026-07-30 颁布
  •   |  2027-02-01 实施

GB/T 47926-2026半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范.pdf

ICS23.080

CCSJ71

中华人民共和国国家标准

GB/T47926—2026

半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范

Technicalspecificationformaglevself⁃bearingcleanpumpforsemiconductor

applications

2026⁃07⁃30发布2027⁃02⁃01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/T47926—2026

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