原创力文档晶圆测试作业指导书
目录TOC\o1-4\z\u
一、晶圆测试目的与适用范围 3
二、测试环境与洁净度要求 4
三、测试设备准备与日常维护规范 6
四、测试耗具与物料清单 8
五、晶圆测试前置检查作业流程 11
六、测试程序加载与参数配置方法 13
七、探针卡对接与清洁工艺 15
八、电学测试作业步骤与标准 17
九、功能性测试步骤与判定标准 19
十、可靠性测试项目专项执行要求 22
十一、晶圆失效模式分析作业程序 24
十二、测试数据分析与良率统计 26
十三、晶圆分级与分类标识标准 29
十四、测试数据记录与系统报告
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