IEC 62047-432024 半导体器件.微机电器件.第43部分柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性的试验方法标准立项发展报告.docxVIP

柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性试验方法（IEC62047-43:2024）标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Testmethodofelectricalcharacteristicsaftercyclicbendingdeformationforflexiblemicro-electromechanicaldevices

摘要

关键词：柔性微机电系统；循环弯曲变形；电气特性测试；IEC62047-43；国际标准；可靠性试验；柔性电子

Keywords:FlexibleMEMS;Cyclicbendingdeformation;Electricalcharacteristicstest;IEC62047-43;Internationalstandard;Reliabilitytest;Flexibleelectronics

1引言

微机电系统（Micro-ElectromechanicalSystems，MEMS）技术自20世纪后期发展以来，已在汽车电子、消费电子、航空航天、生物医学及工业控制等领域获得广泛应用。传统MEMS器件通常依托硅基刚性衬底制造，具有良好的尺寸稳定性和成熟的半导体工艺兼容性，但其刚性本质限制了在曲面贴合、柔性穿戴及可折叠设备中的应用。近