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《高速双频激光干涉仪的轴卡动态示值误差测试》标准立项修订与发展报告

高速双频激光干涉仪的轴卡动态示值误差测试

TestMethodforDynamicIndicationErrorofAxisBoardinHigh-SpeedDual-FrequencyLaserInterferometers

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摘要

高速双频激光干涉仪作为超精密测量领域的核心仪器，在集成电路制造、高档数控机床、航空航天等战略性产业中发挥着不可替代的作用。轴卡作为干涉仪系统的关键信号处理单元，其动态示值误差直接影响整机测量精度与可靠性。随着光刻机等高端装备对测量速度与精度要求的持续提升，现有测试方法已难以满足对高速工况下轴卡动态性能的准确评价需求。本报告围绕国家标准项目《高速双频激光干涉仪的轴卡动态示值误差测试》（计划号：2026003048），系统阐述了该标准的制定背景、技术内容与创新要点。标准采用调制光输入法，通过模拟实际测量工况下的光学信号特征，实现对最大测量速度不低于300mm/s、数据更新率不低于10kHz的高速轴卡动态示值误差的准确测试。该标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（TC203）归口，哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院等六家单位联合起草，依托多项国家级科研专项成果，填补了国内外在该领域的标准空白，对完善我国半导体设备标准体系、支撑高端装备国产化具有重要意义