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《纳米技术开尔文探针力显微术第1部分：表面电势测量》标准立项修订与发展报告

纳米技术开尔文探针力显微术第1部分：表面电势测量

Nanotechnology—KelvinProbeForceMicroscopy—Part1:SurfacePotentialMeasurement

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摘要

随着纳米科技在半导体、新能源、信息存储及生物医药等战略性新兴领域的迅猛发展，纳米材料与器件的表面电势表征需求日益迫切。开尔文探针力显微术（KelvinProbeForceMicroscopy,KPFM）作为原子力显微镜的重要功能扩展模式，能够在纳米尺度上实现对材料表面电势分布的