《多轴干涉镜组测试方法 第2部分：热漂移》标准立项修订与发展报告.docx

《多轴干涉镜组测试方法第2部分：热漂移》标准立项修订与发展报告

多轴干涉镜组测试方法第2部分：热漂移

TestMethodforMulti-axisInterferenceMirrorGroups—Part2:ThermalDrift

摘要

随着半导体制造、超精密加工及集成电路装备技术的飞速发展，高速双频激光干涉仪作为纳米级位移测量的核心计量仪器，其测量精度与稳定性直接决定了光刻机等高端装备的技术水平。多轴干涉镜组作为双频激光干涉仪的关键光学组件，其热漂移特性对系统测量精度具有决定性影响。为规范多轴干涉镜组热漂移性能的测试方法与评价体系，国家标准《多轴干涉镜组测试方法第2部分：热漂移》（标准计划号：2026003046）正式立项制定。本报告对该标准的立项背景、适用范围、主要技术内容、起草单位及行业影响进行系统阐述。标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（TC203）归口管理，哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院等单位联合起草，采用热循环法统一测试环境要求、设备能力要求、测试步骤、数据处理和结果表达方式，填补了国内多轴干涉镜组热漂移测试方法标准的空白，对提升国产激光干涉仪产品可靠性和国际竞争力具有重要意义。

关键词：多轴干涉镜组；热漂移；测试方法；双频激光干涉仪；标准化；半导体设备；光电子学

Keywords:Multi-axisInterference