- 0
- 0
- 约小于1千字
- 约 37页
- 2026-09-01 发布于广西
- 举报
光刻机简单介绍;目录;光刻机发展过程;光刻机概述(一);光刻设备概述(二);NSR–2205;光刻机;光刻机基础;光学基础知识;光刻机整体构造;光学系构造;光刻机构造-干涉滤光镜;光刻机构造-复眼lens;光刻机构造-SHUTTER;光刻机构造-Stageuni;光刻机构造-STAGEUNI;光刻机构造-Stageuni;工作台定位-HP干涉计;工作台定位-HP干涉计;工作台定位:移动境、固定境;光刻机构造-LENSCON;LC倍率控制的实现;LC与AUTOFOCUS的关系;光刻机-相关特性参数;数值孔径;分辨率:R;焦点深度:DOF;分辨率、焦深、NA关系;离轴照明;离轴照明的优点;掩膜版对准系统(一);掩膜版对准系统(二);掩膜版对准系统(三);掩膜版对准系统(四);掩膜版对准系统(五);Slide36;Slide37
原创力文档

文档评论(0)