《洁净室及相关受控环境 空气化学污染物浓度监测方法》标准立项修订与发展报告.docx

《洁净室及相关受控环境空气化学污染物浓度监测方法》标准立项修订与发展报告

CleanroomandAssociatedControlledEnvironments—MonitoringMethodsforAirborneChemicalContaminantConcentration

摘要

随着我国高新技术产业（如集成电路、平板显示、生物医药、精密制造等）的迅猛发展，洁净室及相关受控环境作为保障产品质量与工艺稳定性的关键基础设施，其空气品质控制已从传统的颗粒物控制向化学污染物控制深度延伸。空气中分子态污染物（AMC）的存在，即使浓度极低，亦可能对光刻胶性能、薄膜沉积质量、