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超声波驱动的微型马达在微流控芯片中的流体泵设计

摘要

微流控芯片技术在生化分析、即时诊断和药物筛选等领域展现出巨大潜力，但流体驱动与精密控制一直是制约其微型化与集成化的核心瓶颈。传统微泵方案依赖机械传动或高压电场，存在接触污染、结构复杂、生物相容性差等固有缺陷。

本论文围绕“无接触、低损伤、高集成”的设计目标，提出一种基于超声波驱动的微型马达流体泵方案。该方案利用压电换能器激发行波，在定子表面形成超声频微幅振动，通过摩擦耦合驱动转子旋转，进而推动微流道内流体稳定输运。设计重点在于实现无接触稳压，即通过调节超声激励参数（频率、幅值、相位）精确控制泵送流量与压力，避免机械接触带来的磨损与污染。

全文遵循“需求分析→总体设计→详细设计→实现→测试”的工程递进思路。第一章分析微流控流体驱动的现实痛点与现有方案不足；第二章阐述压电超声驱动与微加工关键技术；第三章细化泵系统功能与非功能需求；第四章完成超声马达与微流控芯片的总体架构设计；第五章深入马达定子振动模态、流道结构与控制算法详细设计；第六章展示原型实现与核心驱动效果；第七章通过流量与压力测试验证系统性能；第八章总结成果并展望优化方向。

本设计的核心创新在于：提出超声行波驱动与微流控芯片一体化集成架构，实现流体泵的无接触稳压控制，为片上实验室系统提供一种低剪切、可精确调控的流体输运新方法。

第一章绪论

1.1研究背景