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- 2026-09-03 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119673751A
(43)申请公布日2025.03.21
(21)申请号202411626173.4H01L21/66(2006.01)
C30B25/16(2006.01)
(22)申请日2024.11.14
C30B29/06(2006.01)
(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司
地址710065陕西省西安市高新区西沣南
路1888号1-3-029室
申请人西安奕斯伟硅片技术有限公司
(72)发明人梁鹏欢
(74)专利代理机构西
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