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光电器件用磷化铟基外延片

1范围

本文件规定了光电器件用磷化铟基外延片（以下简称“外延片”）的术语和定义、分类及牌号、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、随行文件及订货单内容。

本文件适用于光电器件用磷化铟基外延片的生产、检验。产品主要用于激光二极管（激光器），探测器等。

2规范性引用文件

下列文件中的有关条款通过引用而成为本文件的条款。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划

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GB/T14264半导体材料术语

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GB/T32189氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

GB/T42676半导体单晶晶体质量的测试X射线衍射法

JY/T0585金相显微镜分析方法通则

JY/T0584扫描电子显微镜分析方法通则

3术语和定义

GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件。

3.1

光栅Grating