《砷化镓基化合物半导体外延片》.pdfVIP

光电器件用砷化镓基外延片

1.范围

本文件规定了光电器件用砷化镓基外延片（以下简称“外延片”）的术语和定义、分类

及牌号、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和质量证明书等。

本文件适用于光电器件用砷化镓基外延片的生产，测试分析及质量评价。

2.规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适

用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

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计划

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