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- 2026-09-03 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119677160A
(43)申请公布日2025.03.21
(21)申请号202411621594.8
(22)申请日2024.11.13
(71)申请人中国科学院微电子研究所
地址100029北京市朝阳区北土城西路3号
(72)发明人李永亮冯凯敏
(74)专利代理机构北京知迪知识产权代理有限
公司11628
专利代理师梁佳美
(51)Int.Cl.
H10D84/03(2025.01)
H10D84/85(2025.01)
权利要求书2页说明书12页附图27页
(54)发明名称
一种半导体器件的制造方法
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