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【课件】最新版安全风险告知卡（半导体行业）.docx

【课件】最新版安全风险告知卡（半导体行业）.docx

    最新版风险告知卡（半导体行业篇29个）

    洁净室生产区

    风险等级

    红色|重大风险

    控制后：低风险；L=0.2，E=3,6，C=100,40，D最高=60

    风险描述

    事故类型

    1.砷烷、磷烷、硅烷、氯气等工艺气体因管路、阀件或设备接口失效泄漏，造成人员急性中毒并可能形成火灾爆炸

    2.IPA、丙酮、光刻胶及清洗剂蒸气积聚，遇静电、电火花或高温表面引发火灾或蒸气爆炸

    泄漏

    中毒

    可燃气体爆炸

    火灾

    可燃液体蒸气爆炸

    安全警示标志

    管控措施

    1.技术措施：工艺气体采用双层管、VMB/VMP隔离、气体探测、紧急切断、排风和尾气处理，报警与设备停机联锁；溶剂工位设置局部排风

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