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洁净室及相关受控环境——第15部分：按空气化学浓度评估设备和材料的适用性标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part15:Assessmentofsuitabilityforuseofequipmentandmaterialsbyairbornechemicalconcentration

摘要

随着半导体制造、平板显示、生物制药、精密机械加工及航空航天等高新技术产业的快速发展，洁净室内的空气化学污染控制已成为保障产品质量与工艺良率的决定性因素。当前实践表明，诸多先进制造工艺对气态分子污染物（AMC）的敏感度已经超越对传统悬浮粒子（MP）的敏感度，设备与材料在洁净环境中的化学释放特性直接关系到生产环境的最终洁净度水平。然而，长期以来国际标准化组织（ISO）第209技术委员会（TC209）虽已构建了涵盖空气纯度分类（ISO14644-1）、测试方法（ISO14644-2、-3）及化学污染控制（ISO14644-8、-10）等维度在内的标准体系，但针对“设备和材料适用性评估”的专项国际标准却长期处于空白状态。为弥补这一系统性缺口，ISO14644-15《洁净室及相关受控环境——第15部分：按空