《微机电系统(MEMS)技术 制造能力评估 第3部分:晶圆制造编制说明》.pdf

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国家标准《微机电系统(MEMS)技术制造能力评估第4部

分封装测试》(征求意见稿)编制说明

一、工作简况

1、任务来源

《微机电系统(MEMS)技术制造能力评估第4部分封装测试》标准制定

是国家标准化管理委员会2025年第六批国家计划项目,计划项目批准文号:国

标委发【2025】34号,计划编号T-469,下达日期为2025年7月1

日。由国家标准化管理委员会提出,全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC

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