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CN119506784A 一种薄膜均匀性修正挡板的制作方法 （北京空间机电研究所）.pdfVIP

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  • 2026-09-03 发布于重庆
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CN119506784A 一种薄膜均匀性修正挡板的制作方法 （北京空间机电研究所）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119506784A

    (43)申请公布日2025.02.25

    (21)申请号202411610677.7

    (22)申请日2024.11.12

    (71)申请人北京空间机电研究所

    地址100094北京市海淀区友谊路104号

    (72)发明人白云立武晓东王刚王利

    李昱昊

    (74)专利代理机构中国航天科技专利中心

    11009

    专利代理师张晓飞

    (51)Int.Cl.

    C23C14/24(2006.01)

    C23C14/54(2006.01)

    权利要求书2页说明书5页附图1页

    (54)发明名称

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