CN119530988A 基于化学腐蚀法制造晶片的方法 （河南省科学院激光制造研究所）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119530988A

(43)申请公布日2025.02.28

(21)申请号202411619633.0

(22)申请日2024.11.13

(71)申请人河南省科学院激光制造研究所

地址450016河南省郑州市郑东新区明理

路西、崇德街南

(72)发明人王金生江浩庆易文迪余登德

(74)专利代理机构北京观韬律师事务所11553

专利代理师李浩王泽博

(51)Int.Cl.

C30B33/10(2006.01)

B23K26/352(2014.01)

C30B29/36(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图