CN119845160A 膜层的尺寸参数检测方法及其系统 （谢文芩）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119845160A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202311338903.6

(22)申请日2023.10.17

(71)申请人谢文芩

地址中国台湾新竹市

申请人刘志祥

(72)发明人谢文芩刘志祥

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

公司11243

专利代理师金鲜英

(51)Int.Cl.

G01B11/06(2006.01)

G01B11/24(2006.01)

G01B11/30(2006.01)

权利要求书3页说明书9页附图12页

(54)发明名称

膜层的尺寸参数检测方法及其系统

(57)摘要

CN119845160A本发明关于一种膜层的尺寸参数检测方法及其系统，所述系统包括一讯号发射器，以发射一电磁波；一照射导光镜，所述电磁波照射到所述照射导光镜以形成一入射电磁波，以一入射角度入射到一膜层，并产生一反射电磁波；一接收导光镜，以接收所述反射电磁波；一光轴设定机构，经配置以调整所述膜层或所述照射导光镜偏转进而控制所述入射电磁波的一光轴与所述膜层间的所述入射角度；一接收器，与所述接收导光镜连接，以测定所述反射电磁波的一反射强度；及一数据处理单元，与所述接收器电性连接，用以由所述反射强度以及一折射率求出所述膜

CN1