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存储芯片样品试制作业手册.docx

存储芯片样品试制作业手册.docx

    存储芯片样品试制作业手册

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、存储芯片样品试制概述与目标 2

    二、试制环境与洁净度标准 4

    三、存储芯片设计图纸交接规范 7

    四、晶圆裸片准备与管理流程 10

    五、前道制造工艺步骤与作业要求 13

    六、光刻工艺关键参数控制技术要求 15

    七、离子注入与扩散杂质工艺控制 18

    八、薄膜沉积与刻蚀工艺标准 21

    九、金属布线与层间连接作业 23

    十、化学机械平坦与钝化工艺规范 26

    十一、晶圆测试与电性能评估程序 29

    十二、芯片封装工艺流程与选型 31

    十三、引线键与锡焊接作业标准 35

    十四、

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