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差分电迁移分析仪计量校准规范实验报告
一、简介
本实验报告的目的是通过一系列的样机模拟试验,验证和考察新制订校准规范的校准方法和技术指标的科学性、合理性和可操作性。在实验过程中课题组共考察了9台件国内外仪器,所考察仪器规格/型号为国内外市场中常见的国内外等公司的相关产品。图1为几种被校准仪器的实物图。
图1被校准仪器的实物图
所考察仪器的型号主要包括3938(TSI)、3082200(TSI)、SMPS2000/2100(PALAS)、5706(GRIMM),仪器编号分别为:308202049001、308200200800、3082002151003、308
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