CN119843249A 提高金属膜电学性能的前驱体组合物、金属膜及方法 （江苏南大光电材料股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119843249A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202510341033.0

(22)申请日2025.03.21

(71)申请人江苏南大光电材料股份有限公司

地址215000江苏省苏州市工业园区胜浦

平胜路67号

(72)发明人杨敏乔玮胡昌明王博文

(74)专利代理机构苏州三英知识产权代理有限

公司32412

专利代理师黄晨

(51)Int.Cl.

C23C16/455(2006.01)

C23C16/30(2006.01)

C23C16/40(2006.01)

C23C16/505(2006.01)

权利要求书3页说明书13页附图1页

(54)发明名称

提高金属膜电学性能的前驱体组合物、金属

膜及方法

(57)摘要

CN119843249A本申请公开了一种提高金属膜电学性能的前驱体组合物、金属膜及方法，前驱体组合物包括：第一浓度的前驱体，第二浓度的掺杂剂和第三浓度的溶剂。本申请通过向前驱体中添加掺杂剂，能够显著提升沉积得到的金属膜的电学性能，其中，电容密度增加了9%，介电常数增

CN119843249A

CN119843249A权利要求书