GBT 47714-2026 准分子紫外辐射源 安全规范标准立项发展报告.docx

准分子紫外辐射源安全规范标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:SafetySpecificationforExcimerUltravioletRadiationSources

摘要

随着准分子紫外辐射源在半导体制造、生物医疗、水处理及表面改性等高新技术领域的广泛应用，其辐射安全与防护问题日益受到行业与监管机构的高度关注。本报告围绕国家标准GB/T47714-2026《准分子紫外辐射源安全规范》的立项背景、编制过程、技术内容及实施意义展开系统论述。报告首先梳理了准分子紫外辐射源的技术特征与应用场景，分析了当前国内外相关安全标准