薄膜材料的表征方法.pptVIP

一、原子内的电子激发及相应的能量过程在基态时，原子内层电子的排布情况可如示意性地如图(a)所示，其中，K、L、M分别表示了1s、2s-2p、3s等电子态的相应壳层，而用L1.L2，3表示2s和2p两个亚壳层的电子态。在外部能量的激发下,比如在外来电子的激发下,原子最内层的K壳层上的电子将会受到激发而出现一个空的能态,如图(b)所示。根据其后这一电子态被填充的过程不同，可能发生两种情况。（1)这一空能级为一个外层电子，比如M或L层的电子所占据，并在电子跃迁的同时放出一个X射线光子，如图(c)所示。（2)空的K能级被外层电子填充的同时并不发出X射线，而是放出另一个外层电子，如图(d)所示。这一能量转换过程被称为俄歇过程，相应放出的电子被称为俄歇电子。(a)(b)(c)(d)返回二、X射线能量色散谱（EDX)X射线能量色谱仪又被简称为能谱仪。作为一种常规成分分析仪器,它已被广泛安装于扫描和透射电子显微镜上,作为材料结构研究中主要成分分析手段。在这种情况下,电子显微镜产生的高能电子束既要完成提示材料结构特征的任务,又要起到激发材料中电子使其发射特征X射线的作用。由于电子显微镜中的电子束可以被聚焦至很小的斑点,因而所得到的成分信息可以