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碳化硅加工工艺流程.pdfVIP

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  • 2026-09-05 发布于河北
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碳化硅加工工艺流程.pdf

    碳化硅加工工艺流程

    一、碳化硅的发展史：

    1893年艾奇逊发表了第一个制碳化硅的专利，该专利提出了制取碳化硅的工业方法，其要特

    点是，在以碳制材料为炉芯的电阻炉中通过加热二氧化硅和碳的混合物，使之相互反应，从而生成碳化

    硅，到1925年卡普伦登公司，又宣布研制成功绿碳化硅。

    我国的碳化硅于1949年6月由赵广和研制成功，1951年6月，第一台制造碳化硅的工业炉在第

    一砂轮厂建成，

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