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目录
半导体方向-应用案例 1
一、超声波MEMS测试 1
引言 1
1.关于MEMS传感器的一般注意事项 1
2.用于距离测量的超声波传感器 3
3.用于工业和汽车应用的超声波MEMS 3
4.MEMS气压传感器 3
5.用于MEMS超声医学成像应用的信号生成 4
6.用于医学成像应用的多级脉冲 8
7.自动驾驶汽车超声波传感器的安全性 11
8.用于传感器的超声波通信和测距系统 17
9.用于混凝土损伤检测的超声MEMS 20
结论
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