CN120252498A 迈克尔逊干涉仪及微小件形貌检测方法 (中国计量大学).pdfVIP

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  • 2026-09-05 发布于重庆
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CN120252498A 迈克尔逊干涉仪及微小件形貌检测方法 (中国计量大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120252498A

(43)申请公布日2025.07.04

(21)申请号202510732111.XG01B9/02055(2022.01)

G01B11/24(2006.01)

(22)申请日2025.06.03

(66)本国优先权数据

202411586276.22024.11.07CN

(71)申请人中国计量大学

地址310018浙江省杭州市下沙高教园区

学源街258号

(72)发明人陈煜茗康一明崔永辉张焓

林思彤刘昊昀徐成闫婷婷

沈洋

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