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存储芯片洁净车间工程设计
目录TOC\o1-4\z\u
一、存储芯片洁净车间工程设计概述 3
二、洁净室工艺规划与功能布局设计 5
三、洁净室等级划分与气流组织设计 8
四、洁净空调暖风系统工程设计 11
五、工业水处理与净化系统设计 13
六、工艺用水供应系统工程设计 16
七、特气与化学品供应系统设计 19
八、工业废气与废水处理系统设计 23
九、动力电力与配电系统设计 25
十、精密直流与UPS电源系统设计 29
十一、暖通空调自动化控制系统设计 32
十二、消防安全与智能化监控系统设计 35
十三、建筑幕墙与结
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