CN119110675A 基于自对准加工工艺的超导机械振子量子器件及其制备方法 （北京量子信息科学研究院）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119110675A

(43)申请公布日2024.12.10

(21)申请号202411572057.9

(22)申请日2024.11.06

(71)申请人北京量子信息科学研究院

地址100193北京市海淀区中关村软件园

二期国际与区域协同创新中心A座

(72)发明人刘玉龙王思涵周经纬陈炎霖

(74)专利代理机构北京律和信知识产权代理事

务所(普通合伙)11446

专利代理师何春晖刘国伟

(51)Int.Cl.

H10N60/01(2023.01)

H10N60/80(2023.01)

B81B7/02(2006.01)

B81C1/00(2006.01)