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2026十五五新国标：PECVD ALD设备能效标准升级与行业出清.docx

2026十五五新国标：PECVD ALD设备能效标准升级与行业出清.docx

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    2026十五五新国标：PECVDALD设备能效标准升级与行业出清

    TOC\o1-3\h\z\u15900一、政策背景与标准升级解读 4

    125011.1十五五规划对半导体装备行业的新要求 4

    112781.1.1绿色低碳与双碳目标下的行业定位 4

    98321.1.2新国标制定的时间节点与实施路径 6

    1861.2PECVD与ALD设备能效标准的具体指标变化 8

    115981.2.1单位产量能耗限值（kWh/wafer）的收紧幅度 8

    281351.2.2辅助系统能效与余热回收率的新增要求 10

    11857二、行业现

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