CN119093897A 半导体薄膜机械振子的体声波读取装置及其制备方法 （北京量子信息科学研究院）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119093897A

(43)申请公布日2024.12.06

(21)申请号202411572092.0

(22)申请日2024.11.06

(71)申请人北京量子信息科学研究院

地址100193北京市海淀区中关村软件园

二期国际与区域协同创新中心A座

(72)发明人刘玉龙王文彦刘其春孙换莹

(74)专利代理机构北京律和信知识产权代理事

务所(普通合伙)11446

专利代理师何春晖刘国伟

(51)Int.Cl.

H03H9/17(2006.01)

H03H9/13(2006.01)

H03H9/02(2006.01)

H03H3/02(200