CN119851558A 一种晶圆装载端口的快速示教装置、示教方法及应用 （苏州冠韵威电子技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119851558A

(43)申请公布日2025.04.18

(21)申请号202510350421.5

(22)申请日2025.03.24

(71)申请人苏州冠韵威电子技术有限公司

地址215000江苏省苏州市工业园区宏业

路158号联发工业园8号厂房

(72)发明人魏礼开杜杰张闯

(74)专利代理机构南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32256

专利代理师李志

(51)Int.Cl.

G09B25/02(2006.01)

G09B9/00(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图8页

(54)发明名称

一种晶圆装载端口的快速示教装置、示教方

法及应用

(57)摘要

CN119851558A本申请公开了一种晶圆装载端口的快速示教装置、示教方法及应用。所述示教装置可应用于半导体干法刻蚀的示教活动中，并包括安装基座，安装基座表面开设有移动槽，移动槽内滑动安装有移动滑板，移动滑板上设置有辅助移动机械手进行限位的限位机构和解除限位机构限位作用的解除机构，使用时移动机械手插入到安装基座与示教晶圆模拟块之间的间隙中后，通过移动机械手与解除机构中的触动滑块挤压接触后，触动滑块会带动限位机构中的插接卡块进行移动，解除限位机构的限位作用，移动机械手能够推动