GBT 47243-2026 光学和光子学 光学元件 复杂曲面光学元件几何参数测试方法标准立项发展报告.docxVIP

光学和光子学光学元件复杂曲面光学元件几何参数测试方法标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:OpticsandPhotonics—OpticalElements—TestingMethodsforGeometricalParametersofComplexSurfaceOpticalElements

摘要

关键词：复杂曲面光学元件；光学测试；几何参数；标准化；光学和光子学；面形检测；国家标准

Keywords:complexsurfaceopticalelements;opticaltesting;geometricalparameters;standardization;opticsandphotonics;surfacefiguremeasurement;nationalstandard

1引言

1.1研究背景

近年来，以自由曲面光学元件为代表的复杂曲面光学元件正在深刻改变现代光学系统的设计理念与制造范式。在极紫外光刻（EUVL）物镜系统中，非球面反射镜的面形精度需达到纳米甚至亚纳米量级（PV值＜λ/100）；在空间光学遥感领域，大口径非球面主镜的加工精度直接影响成像分辨率；在消费级AR显示光波导中，衍射光栅和自由曲面耦合元件的几何参数控制则关系到最终