BS ISO 25387-2026 微束分析——分析电子显微术——高分辨透射电子显微镜点分辨率测定程序 标准立项发展报告.docx

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微束分析——分析电子显微术——高分辨透射电子显微镜点分辨率测定程序标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Microbeamanalysis—Analyticalelectronmicroscopy—Proceduresfordeterminingthepointresolutionofhigh-resolutiontransmissionelectronmicroscope

摘要

随着材料科学、半导体工业及纳米技术研究的深入,高分辨透射电子显微镜(HRTEM)已成为表征材料原子尺度结构的关键工具。点分辨率是

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